LOG IN | °í°´¼¾ÅÍ | STIEMAP







  HOME > OBS ÀÚ·á½Ç > (°³Æí) View&Outlook

ÇÁ¸°Æ® À̸ÞÀÏ Àü¼Û ¸®½ºÆ®
[View & Outlook] ¹ÝµµÃ¼ ÇâÈÄ 3³â°£ ȣȲ¡¦ÀÚÀ²Â÷¡¤Àü±âÂ÷ ¼ö¿ä ´Ã°Í
`¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤°øÁ¤ ¼Ö·ç¼Ç¾÷ü` Ú¸ÀÎÅױ׸®½º ½ºÆ©¾îÆ® ŸÀ̽¼ ¼±ÀÓ ºÎ»çÀå
±â»çÀÔ·Â 2018.05.04 04:05:02 Æ®À§ÅÍ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ºí·Î±× ½ºÅ©·¦

ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ Çѱ¹ »ç¾÷ È®´ë¸¦ À§ÇØ ¹æÇÑÇÑ ½ºÆ©¾îÆ® ŸÀ̽¼ ÀÎÅױ׸®½º ¼±ÀÓ ºÎ»çÀåÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤¿¡¼­ ¼ÒÀç¿Í ¹Ì¼¼¿À¿° °ü¸®ÀÇ Á߿伺À» ¼³¸íÇÏ°í ÀÖ´Ù.

»ç¹°ÀÎÅͳÝÀ¸·Î ¸ðÀº ºòµ¥ÀÌÅ͸¦ Çؼ®ÇÏ°í ÀΰøÁö´ÉÀÌ À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÀÇ»ç °áÁ¤À» ³»¸®´Â 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀÌ ÀÏ»ó¿¡ Á¶±Ý¾¿ ½º¸çµé°í ÀÖ´Ù. ¹Ì·¡ µ¥ÀÌÅÍ ºñÁî´Ï½º¿¡¼­ ¼º°øÇÑ ±â¾÷ÀÌ 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ëÀÇ ÁÖµµ±ÇÀ» Áæ °ÍÀ̶ó°í ¿¹»óµÇ´Â ¹è°æÀÌ´Ù.

¸ðµç µ¥ÀÌÅÍ´Â ¸Þ¸ð¸®¿¡ ÀúÀåµÈ´Ù. ±¸±Û, ¾Æ¸¶Á¸ µî Á¤º¸±â¼ú(IT) ±â¾÷µéÀÇ µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ¡¤¼­¹ö¡¤ÀúÀå °ø°£ È®´ë¿Í ¸Â¹°·Á ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåµµ ±Þ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. Áö³­ÇØ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â Àü³â ´ëºñ 21.5% Áõ°¡ÇÑ 4118¾ï´Þ·¯¸¦ ±â·ÏÇß´Ù.

¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤Àº Å©°Ô Àü°øÁ¤°ú ÈÄ°øÁ¤À¸·Î ³ª´¶´Ù. »ó´ëÀûÀ¸·Î ÀÚµ¿È­À²°ú ÇÊ¿äÇÑ ±â¼ú ¼öÁØÀÌ ³ôÀº Àü°øÁ¤Àº `¼¼Á¤¡ªÁõÂø¡ªÀÌ¿Â ÁÖÀÔ¡ª°¨±¤¾× µµÆ÷¡ª³ë±¤(Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ)¡ª½Ä°¢¡ª°¨±¤¾× Á¦°Å` °øÁ¤À» ¹Ýº¹ÇÏ¸ç ¿þÀÌÆÛ(½Ç¸®ÄÜ ¿øÆÇ)¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» »õ±ä´Ù. Àü°øÁ¤ Áß °¡Àå ÇÙ½ÉÀûÀÎ ³ë±¤ °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤ ½Ã°£ÀÇ 60%, ºñ¿ëÀÇ 35% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù. ¿ø¸®´Â ³ë±¤ °øÁ¤À» ÁøÇàÇÏ´Â ½ºÄ³³Ê Àåºñ°¡ ºûÀ» ½î¸é °¡¸²¸· ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ¸¶½ºÅ©(Reticle)¿¡ ¶Õ¸° ÆÐÅÏ´ë·Î °¨±¤Á¦ À§¿¡ Àü»çÇÏ¸é ºûÀ» ÂÙ ºÎºÐ¿¡¸¸ ȸ·Î°¡ »õ°ÜÁö´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù °æ±âµµ È­¼º¿¡¼­ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ ±ØÀڿܼ±(EUV) ½ºÄ³³Ê¸¦ Àû¿ëÇÑ »õ·Î¿î ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎ °Ç¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù. ¿Ã ÇϹݱâºÎÅÍ 7§¬ °øÁ¤ »ý»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ÀÌ 10§¬ ¹Ì¸¸À¸·Î ³»·Á°¨¿¡ µû¶ó °øÁ¤ ³­À̵µ°¡ ¿Ã¶ó°¬°í, ¾÷°è´Â ³ë±¤ Àåºñ¿Í °ü·Ã ºÎÇ°¡¤¼ÒÀçÀÇ ÇÑ°è·Î »ý»ê¼ºÀÌ µÐÈ­ÇÏ´Â ÇÑ°è¿¡ ºÀÂøÇß´Ù.

EUV °øÁ¤ÀÌ ÀÚ¸® Àâ±â À§Çؼ­´Â °í³­À̵µÀÇ Ç°Áú °ü¸®¿Í °Ë»ç ±â¼úÀÌ ¿ä±¸µÇÁö¸¸ ±âÁ¸ SEM(Scanning Electron Microscope¡¤ÀüÀÚºö »ç¿ë ÆÐÅÏ ÃøÁ¤ ÀåÄ¡)À¸·Î´Â ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê´Â °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç Àåºñ ºÐ¾ß ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÎ `KLA¡ªÅÙÄÚ` ÃøÀº "5~7§¬ °øÁ¤ÀÇ °æ¿ì Ĩ Á¦Á¶»ç¿¡¼­ Á¦Ç°¿¡ ¹ß»ýÇÑ ±¸Ã¼ÀûÀÎ ¹®Á¦¿Í ¿øÀÎÀ» ã´Â °Ô ¾î·Á¿öÁö°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÈù ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¾÷°è¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Àç·áÀÇ Ç°Áú°ú ¼ÒÀçÀÇ ¼øµµ¸¦ ¿øõÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÏ´Â ÇØ°áÃ¥¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ´Ã¾î³µ´Ù.

¹Ì±¹ ÀÎÅױ׸®½º(Entegris)´Â ¹ÝµµÃ¼¿Í ÷´Ü»ê¾÷ÀÇ ¿À¿° Á¦¾î, ¼ÒÀç ó¸®, °í±Þ Àç·á ½ÃÀåÀÇ ¼±µµ±â¾÷ÀÌ´Ù. 1966³â ¼³¸³µÆ°í Áö³­ÇØ ¿¬¸ÅÃâ 13¾ï400¸¸´Þ·¯ Áß 77%¸¦ ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼­ ¿Ã·È´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â ¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹ý(Atomic Layer Deposition¡¤ALD)°ú È­Çбâ»óÁõÂø¹ý(Chemical Vapor Deposition¡¤CVD) ½ÃÀå, ±¸¸®¡¤ÄÚ¹ßÆ® µµ±Ý ½ÃÀå, ¹ÝµµÃ¼ µµÆÝÆ®(Dopant) Ư¼ö°¡½º ½ÃÀå µî °¢ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¸ðµÎ ¼¼°è 3À§±Ç ³»¿¡ ÁøÀÔÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù.

¸ÅÀÏ°æÁ¦ ºñÁîŸÀÓ½º´Â ÃÖ±Ù ½ºÆ©¾îÆ® ŸÀ̽¼(Stuart Tison) ÀÎÅױ׸®½º ¼±ÀӺλçÀå(Ư¼ö È­ÇÐ ¹× ¿£Áö´Ï¾î¸µ ¼ÒÀç ºÎ¹®)À» ¸¸³ª ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Æǵµ º¯È­¿¡ °üÇØ µé¾ú´Ù. ±×´Â 3³â°£ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ È£È²À» ¿¹°ßÇϸ鼭 ½Å¼ÓÇÑ ´ëÀÀÀÌ ±â¾÷ÀÇ ¼ºÆи¦ °¡¸¦ °ÍÀ̶ó°í °­Á¶Çß´Ù. ±×´Â ¼ö¿ø Àå¾È¿¡ ÷´ÜÁõÂøÀç·á(Advanced Deposition Material¡¤ADM) ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¼¾ÅÍ¿Í Á¦Á¶ °øÀåÀ» ±¸ÃàÇϱâ À§ÇØ Çѱ¹À» ã¾Ò´Ù. ´ÙÀ½Àº ±×¿ÍÀÇ ÀϹ®ÀÏ´ä.

¡ª Çѱ¹Àº ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ¼¼°èÀûÀÎ ±â¾÷µéÀÌ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼¼°è ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â Çѱ¹¿¡¼­ °í¼øµµ ¿þÀÌÆÛ Ä³¸®¾î ¼ÒÀç¿Í Ư¼ö°¡½º, °í¼º´É ÇÊÅÍ µîÀ» °ø±ÞÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ ±Û·Î¹ú Àü·«Àº ¹«¾ùÀÌ°í Çѱ¹ ½ÃÀåÀ» ¾î¶»°Ô º¸°í ÀÖ³ª.

¢¹ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ ±Û·Î¹ú Àü·«Àº `°í°´»ç¿¡ °¡±õ°Ô ´Ù°¡°¡¶ó`ÀÌ´Ù. Çѱ¹¿¡ R&D¼¾ÅÍ¿Í Á¦Á¶°øÀåÀ» ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¼Ö·ç¼ÇÀ» °ø±ÞÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù¸é °í°´ °¡±îÀÌ¿¡¼­ ´çÀå ³»ÀÏÀÌ¶óµµ »õ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼Ò°³ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¸¸ ºÁµµ ¸Å³â µ¿½Ã¿¡ ¿©·¯ ½ÅÁ¦Ç°À» °³¹ß¡¤Ãâ½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. Çѱ¹ ÁÖ¿ä °í°´»çµµ ÀÌ¹Ì ±Û·Î¹ú ±â¾÷µéÀÌ´Ù. ƯÈ÷ Çѱ¹Àº ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼±µÎÁÖÀÚ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º°¡ ¾Æ½Ã¾Æ¿¡ Çãºê °øÀåÀ» ÁöÀº ÀÌÀ¯°¡ ¿©±â¿¡ ÀÖ´Ù.

¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ±×¾ß ¸»·Î ±Û·Î¹ú »ç¾÷ÀÌ´Ù. ÇϳªÀÇ ¿ÏÁ¦Ç°ÀÌ ³ª¿À±â±îÁö Áß°£Àç°¡ ÅÂÆò¾çÀ» ¼¼ Â÷·Ê ¿Õº¹ÇÒ Á¤µµ´Ù. °íµµ·Î ÅëÇÕµÈ °ø±Þ¸ÁÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Æ¯¼ºÀÌ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â °¢ÁöÀÇ °í°´¿¡ °¡±õ°Ô ´Ù°¡°¡±â À§ÇØ Ç×»ó °¢ °í°´»ç°¡ ¼ÒÀçÇÑ °÷ÀÇ ¹ý±Ô¿Í ¾ÈÀü¡¤±ÔÁ¦ ¹®Á¦¿¡µµ ½Å°æ ¾´´Ù.

¡ª EUV ½ºÄ³³Ê Àåºñ°¡ µµÀԵǸ鼭 ±âÁ¸¿¡ ¾²Áö ¾Ê´ø ¼ÒÀç¿Í °Ë»ç Àåºñ µîÀÌ ¾²ÀÌ°í ÆÐÅÍ´× ±â¼ú·Âº¸´Ù ¼ÒÀç, ¼³°è, ÀåºñÀÇ Á߿伺ÀÌ ³ô¾ÆÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù. EUV °øÁ¤¿¡¼­ ÀÎÅױ׸®½º°¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹Ù´Â ¹«¾ùÀΰ¡.

¢¹EUV °øÁ¤¿¡¼­ °¡Àå °í¹Î½º·¯¿î ºÎºÐÀÌ ³ë±¤À̾ú´Ù. ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ ¼Ö·ç¼Ç °¡¿îµ¥ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ÇÊÅ͸µ ¼Ö·ç¼ÇÀÌ °¡Àå °æÀï·Â ÀÖ´Ù. ÀÌ¹Ì ÁÖ¿ä °í°´»ç¿Í ±â¼ú Çù¾÷À» ÅëÇØ R&D¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â ƯÈ÷ ÀÌ¹Ì ½ÃÀå¿¡¼­ EUV °øÁ¤¿¡¼­ ¿ä±¸ÇÏ´Â ¸¶½ºÅ©¸¦ ¿À¿°À¸·ÎºÎÅÍ ¹æÁöÇÏ´Â `Æ÷µå` ¿µ¿ª¿¡¼­ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ ´ëºÎºÐÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¶Ç `W L Gore&Associate`´Â Áö³­ ¼ö½Ê ³â°£ `°í¾îÅؽº` ¼ÒÀçÀÇ °­ÀÚ¿´´Ù. ±×µéÀº ¿ÊÀ̳ª ¾Æ¿ôµµ¾î Á¦Ç°¿¡ °í¾îÅؽº¸¦ °ø±ÞÇßÁö¸¸ ¸âºê·¹ÀÎ ÇÊÅÍ ÂÊ¿¡µµ Æø³ÐÀº Á¦Ç°±ºÀ» °®°í ÀÖ¾ú´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â ¸âºê·¹ÀÎ ÇÊÅÍ »ç¾÷À» ÀμöÇÑ µÚ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ÀÀ¿ëÀ» À§ÇØ W L Gore & Associate¿Í °è¼Ó R&D Çù·ÂÀ» À̾°í ÀÖ´Ù. ¾ÕÀ¸·Îµµ ÅÂÇ÷Р¼ÒÀç ¸âºê·¹ÀÎ ÇÊÅ͸¦ °³¹ßÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼°¡ PC¿¡ »ç¿ëµÈ ÀÌ·¡ º»°Ý »ó½Â °î¼±À» ÅÀ´Ù. ´©±¸µµ ¸¶Áö¸·À» ¿¹»óÇÒ ¼ø ¾øÁö¸¸ ¿ì¸®´Â ÀÌ¹Ì 10§¬ ¹Ì¸¸ °øÁ¤¿ë ¼Ö·ç¼ÇÀ» °®°í ÀÖ´Ù. 7§¬µç, 3§¬µç ÀÎÅױ׸®½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ °í°´°ú ½Å¼ÓÈ÷ Çù·ÂÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¡ª ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­ PC¿Í ½º¸¶Æ®Æù µî ÀüÅëÀû ¼ö¿ä°¡ ÁÙ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª µ¥ÀÌÅÍ ºñÁî´Ï½ºÀÇ È®´ë¿Í Ä¿³ØƼµåÄ«, »ç¹°ÀÎÅͳÝÀÇ È®»êÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ È®Àå¼¼¸¦ º¸ÀÏ °ÍÀ̶õ ¿¹ÃøÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¹Ì·¡¸¦ ¾î¶»°Ô Àü¸ÁÇϳª.

¢¹¾ÕÀ¸·Î 3³â°£Àº °è¼Ó ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ½ÃÀåÀÌ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷°è³ª ¹Ì±¹ÀÇ ½ÃÀåÁ¶»ç±â°ü °¡Æ®³Ê´Â 6% Á¤µµ ½ÃÀåÀÌ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. ÀüüÀûÀ¸·Î ¾ÛÀÇ ´Ù¾ç¼ºÀÌ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ̶ó »ý°¢ÇÑ´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀåÀ» °¡¼ÓÈ­ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.

ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àü±âÂ÷µµ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ È£Àç´Ù. ¼ø¼ö Àü±âÂ÷(PEV)°¡ ¾Æ´Ñ ÇÏÀ̺긮µåÀü±âÂ÷(HEV)¸¶Àúµµ ±âÁ¸ °¡¼Ö¸° Â÷·®º¸´Ù ¼¼ ¹è°¡·® ´õ ¸¹Àº ÀüÀÚÀåºñ¸¦ ¾µ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ºñ´Ü ÀΰøÁö´ÉÀÌ ¾Æ´Ï´õ¶óµµ ¸ðµç ¿äÀÎÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¼ºÀ嵿·ÂÀÌ´Ù.

ƯÈ÷ ¹Ì±¹ À¯·´ Áß±¹ µî Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ź¼Ò ¹èÃâÀ» ÁÙÀÌ·Á°í ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿Ï¼ºÂ÷ Á¦Á¶»çµµ ÀÌ¹Ì ÀÌ °°Àº ½Ã´ë º¯È­¿¡ ´ëºñÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º´Â À̵éÀÇ ¼ºÀåÀ» µµ¿ï ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.

[¾È°©¼º ±âÀÚ]
[¨Ï ¸ÅÀÏ°æÁ¦ & mk.co.kr, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]

°æÁ¦¿ë¾î»çÀü ÇÁ¸°Æ® À̸ÞÀÏ Àü¼Û ¸®½ºÆ®